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ICS 13.040.35 GB CCS C 70 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.8—2021/ISO14644-8:2013 代替GB/T25915.8—2010 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度 (ACC)等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 8:Classification of air cleanliness by chemical concentration(ACC) ((ISO14644-8:2013,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.8—2021/ISO14644-8:2013 目 次 前言 引言 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4分级 5合格性的证明 附录A(资料性) 影响ACC的因素 附录B(资料性) 常见污染物 附录C(资料性) 常用测量方法 附录D(资料性) 隔离装置的特殊要求 参考文献 16
GB-T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级
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