ICS01.040.13;13.040.35 C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007 洁净室及相关受控环境第6部分：词汇 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 6:Vocabulary (ISO14644-6:2007,IDT) 2011-01-14发布 2011-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007 目次前言引言 IV 1范围 2术语和定义参考文献 17 索引 18

GB-T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境第6部分：词汇

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