书 书 书犐犆犛 ２９ ． ０４５ 犎 ８０ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ４０５８ — ２００９ 代替 ＧＢ ／ Ｔ４０５８ — １９９５ 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犱犲狋犲犮狋犻狅狀狅犳狅狓犻犱犪狋犻狅狀犻狀犱狌犮犲犱犱犲犳犲犮狋狊犻狀 狆狅犾犻狊犺犲犱狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊 ２００９  １０  ３０ 发布 ２０１０  ０６  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 书 书 书中华人民共和国 国家标准 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 ＧＢ ／ Ｔ４０５８ — ２００９  中国标准出版社出版发行 北京复兴门外三里河北街 １６ 号 邮政编码 ： １０００４５ 网址 ｗｗｗ．ｓｐｃ．ｎｅｔ．ｃｎ 电话 ： ６８５２３９４６ 　 ６８５１７５４８ 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销  开本 ８８０×１２３０１ ／ １６ 　 印张 １．２５ 　 字数 ３３ 千字 ２０１０ 年 １ 月第一版 　 ２０１０ 年 １ 月第一次印刷  书号 ： １５５０６６ · １３９５６７ 如有印装差错 　 由本社发行中心调换 版权专有 　 侵权必究 举报电话 ：（ ０１０ ） ６８５３３５３３ 书 书 书前 　　 言 　　 本标准代替 ＧＢ ／ Ｔ４０５８ — １９９５ 《 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 》。 本标准与 ＧＢ ／ Ｔ４０５８ — １９９５ 相比 ， 主要有如下变化 ： ——— 范围中增加了硅单晶氧化诱生缺陷的检验 ； ——— 增加了引用标准 ； ——— 增加了 “ 术语和定义 ” 章 ； ——— 将原标准中 “ 表 １ 　 四种常用化学抛光液配方 ” 删除 ， 在第 ５ 章中对化学抛光液配比进行了修 改 ， 删除了乙酸配方 ； 增加了铬酸溶液 Ａ 的配制 、 Ｓｉｒｔｌ 腐蚀液及 Ｗｒｉｇｈｔ 腐蚀液的配制 ； 增加了 几种国际上常用的无铬 、 含铬腐蚀溶液的配方 、 应用及适用性的分类对比表 ； ——— 采用氧化程序替代原标准中的氧化的操作步骤 ； 增加了 （ １１１ ） 面缺陷的显示方法及 Ｗｒｉｇｈｔ 腐 蚀液的腐蚀时间 ， 将 （ １１１ ） 面和 （ １００ ） 面缺陷显示方法区分开了 ；（ １００ ） 面缺陷的显示增加了 Ｗｒｉｇｈｔ 腐蚀液腐蚀方法 ； ——— 在缺陷观测的测点选取中增加了 “ 米 ” 字型测量方法 。 本标准的附录 Ａ 为资料性附录 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口 。 本标准起草单位 ： 峨嵋半导体材料厂 。 本标准主要起草人 ： 何兰英 、 王炎 、 张辉坚 、 刘阳 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 ： ——— ＧＢ４０５８ — １９８３ 、 ＧＢ ／ Ｔ４０５８ — １９９５ ； ——— ＧＢ６６２２ — １９８６ 、 ＧＢ６６２３ — １９８６ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ４０５８ — ２００９